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洁净室压差控制的基本原理是控制送风量、回风量和排风量。当送入洁净室 内的空气量适当的大于回风和排风量时，室内则可维持一定的正压值。此时，在室内外静压差的作用下，通过围护结构不严密处向外渗漏的风量与机械进出风量的差额相等。
压差维持的难题在于机械送风量与出风量是动态变化的。对于洁净 空调系统来说，过滤器积尘会造成新风、送风管路阻力增加，从而影响风量，排风设备的时开时停也会导致排风量的变化；此外，与楼道、室外相邻还会因热压、风压的变化影响房间的压差。因此洁净室的压差值需要经常进行检查，并依次对新、送、回、排风通路的阀门作出相应的调整。
维持压差的控制措施有：(1)回风口控制，即通过回风口上的百叶可调格栅或阻尼层改变其阻力来调整回风量，达到控制室内压力的目的。这是一种最简单的控制方式，特点是结构比较简单、经济。格栅控制调节方便，但格栅不易密闭，且调节幅度不大，同时也会对气流方向产生影响。一般使用初效泡沫塑料或初效无纺布作为阻尼层，通过改变回风口的阻力来调整回风量，控制洁净室内外的压差。随着阻尼层使用时间增长，其阻力增加，室内正压有加大的趋向，因此应定期进行清洗，阻尼层可以重复使用。(2)余压阀控制通过手动或自动调整余压阀上的平衡压块，改变压阀的阀门开度，实现室内的压力控制。余压阀一般设在洁净室下风侧墙上。采用这种措施时，洁净室内需有足够的剩余正压值，如果排风量发生变化，需重新调整余压阀。余压阀安装简单，但长期使用后关闭不严。如果余压阀完全关闭时室内正压值仍低于要求值，则需改用其他方式控制室内压差。(3)调节回风阀或排风阀根据检测的室内压力值，调节回风管上（或排风管上）的电动阀，改变回风量（或排风量），控制洁净室内的压力值。(4)差压变送器控制，通过差压变送器检测室内的压力，然后调整新风量，新风（OA)管路上的电动阀（MD)阀门开大（变小）。
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